工具顯微鏡分為大型工具顯微鏡和小型工作顯微鏡，使用其進(jìn)行測定，常用的測定方法有四種，分別是直角坐標(biāo)測定、角度測定、高度測定和孔徑測定。

　　1、大型工具顯微鏡。

　　它的回轉(zhuǎn)工作臺是采裝配式，亦由精密十字形移動(dòng)臺和觀測顯微鏡制成的，穿透照明設(shè)備是采用離心照明，支柱和工作臺一體成型可以左右傾斜，螺紋測定非常便捷。眼觀測部裝有投影裝置，可從事投影像之觀測。

　　2、小型工具顯微鏡。

　　它是由精密十字移動(dòng)工作臺及觀測顯微鏡構(gòu)成的，是屬于小型工具顯微鏡，設(shè)計(jì)時(shí)是以容易使用為主，所以支柱不會傾斜，照明設(shè)備亦采簡易型，雖然容易但和許多附屬品相連接后，就能夠增加各種測定工作。

　　工具顯微鏡的測定

　　1、直角坐標(biāo)測定：

　　測定時(shí)必須使測定物的直角坐標(biāo)方向和十字形工作臺的移動(dòng)方向一致時(shí)方可進(jìn)行測定。采用直角坐標(biāo)測定時(shí)由十字移動(dòng)工作臺的移動(dòng)量就可直接讀取直角坐標(biāo)值，若是大型工具顯微鏡，使用瞄準(zhǔn)孔直角坐標(biāo)測定上的像連接觀測眼即可正確測定，而在進(jìn)行測定物直角坐標(biāo)方向和十字移動(dòng)工作臺之校正時(shí)，使用裝設(shè)在大型工具顯微鏡上的裝配式旋轉(zhuǎn)工作臺非常方便，至于小型工具顯微鏡只要旋轉(zhuǎn)臺附件即可。

　　2、角度測定：

　　使用旋轉(zhuǎn)工作臺或角度觀測透鏡即可測定。一般而言角度觀測透鏡的精度較佳。

　　3、高度測定：

　　雖然小型工具顯微鏡無法測定高度，但是若把量銀裝在支柱的上端，然后利用顯微鏡的上下移動(dòng)量就可測定高度了。然而，由于焦點(diǎn)深度，支柱傾度及量銀和光軸間等因素誤差，欲正確測定相當(dāng)困難。

　　4、孔徑測定：

　　一般是使用角度觀測透鏡測定，但大型工具顯微鏡則可使用重疊影象觀測透鏡或者光學(xué)探測子，就是使用重疊影象透鏡，使生成的兩種像重疊，接著在相對的一方亦然，于是由移動(dòng)量即可顯示孔的內(nèi)徑。假若是使用光學(xué)探測器，則先將它裝設(shè)在3倍的對物透鏡上，然后對準(zhǔn)探測子和工作臺的移動(dòng)方向，再調(diào)整觀測鏡內(nèi)之重疊線平行于觀測透鏡的十字線，而使測定子接觸孔穴面。zui后利用Y軸上的進(jìn)給校正重疊線的逆向移動(dòng)，并用X軸進(jìn)給使重疊線夾住觀測透鏡的十子線，即可讀取X軸上的測定值。相對側(cè)的孔穴亦然，故有讀取的差值再加上探測子的直徑即可獲得孔穴內(nèi)徑。